简述固体材料法生产碳化硅晶须

固体材料法可以使用大量不同类型的原料大规模地工业化生产碳化硅晶须。该类方法按反应物状态不同，主要分为气-固-液法和气-固法等两种方法。

①气-固-液法合成碳化硅晶须的生产过程　
在Fe、Ni、NaF等催化剂作用下，高温液相中的硅与碳反应，以过饱和原理析出SiC晶须。
②气-固法合成碳化硅晶须的生产过程　
该方法合成碳化硅晶须只涉及固、气两相，整个生成过程不涉及液相存在。首先SiO2被单质碳还原生成SiO和CO气体；生成的CO与SiO2进一步反应生成SiO和CO2；CO2和周围的C立即反应生成CO；SiO气体随即分别与C和CO发生气-固反应和气-气反应成核，上述反应连续循环，最终生成碳化硅晶须。