碳化硅晶须如何制备

碳化硅晶须是极端各向异性生长的晶体，是在SiC粒子的基础上通过催化剂的作用，沿（111）面生长的短纤维晶体。目前生产碳化硅晶须的方法大体上可分为两种，一种为气相反应法，即用含碳气体与含硅气体反应；或者分解一种含碳、硅化合物的有机气体合成碳化硅晶须的方法；另一种是固体材料法，即利用载气通过含碳和含硅的混合材料，在与反应材料隔开的空间形成碳化硅晶须的合成方法。在上述两种方法中，固体材料法更经济，适合工业化生产。无论哪种方法，为了使晶须生长，Si和C都必须为气相或进入液相成分。