反应烧结氮化硅陶瓷的工艺是什么

将Si粉以适当方式成型，在氮化炉中以远低于Si熔点的温度初步氮化，使坯体具有一定的强度后，进行机械加工再氮化，直到坯体中的Si粉完全氮化为所要求的部件，一般来说部件无须再机械加工。